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[新品] 表面粒子檢測儀(U-III)

英微米光電(武漢)有限公司
聯(lián)系人 曹工
地區(qū) 湖北省 武漢市
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產品參數(shù)
品牌: 英微米
型號: U-III
類型: 儀器
測量范圍: 0.1-5.0um
詳細信息
UK MICRON OPTOELECTRONICS推出U-III表面粒子計數(shù)器:突破0.1微米檢測極限,重新定義半導體潔凈度標準。
2025年3月6日——全球***的光電技術企業(yè)UK MICRON OPTOELECTRONICS正式發(fā)布全新升級的U-III表面粒子計數(shù)器。該產品專為高潔凈度制造場景設計,采用革命性激光傳感技術與智能采樣系統(tǒng),可精準檢測0.1微米級表面顆粒污染,助力半導體、液晶面板及精密電子行業(yè)實現(xiàn)更高良率與可靠性。
測量粒徑:A 0.3um、2.5um、10um;
          B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um;
          C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um;
          D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;
          E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um;
          F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;
粒徑分布誤差:≤±30%
濃度示值誤差:≤±30%
重復相對偏差:≤±10%FS
重疊誤差:當每立方英尺2,000,000個粒子時小于5%
氣體檢測:可同時檢測氣體濃度,支持1-3個各種類型的氣體傳感器
溫度范圍:-40 ~ 120℃
檢定標準:計數(shù)報告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1標準或GB/T6167-2007 JJF1190-2008
氣泵流速:2.83L/min,28.3L/min(可選);
采樣時間:3、6、9、12、15、30、60秒(可選);
檢測模式:數(shù)量模式;質量模式; 凈效模式;三種檢測模式可切換
檢測方式:定時檢測、循環(huán)檢測可設置     
報警方式:自定義數(shù)量報警值、質量報警值
限值報警:RS485信號報警或外接聲光報警器
法 規(guī) 性:權限管控、審計追蹤、電子記錄等
合 規(guī) 性:符合ISO 21501-4,CE,JIS B9921
合 規(guī) 性:符合21 CFR Part 11
通訊接口:RS232、R485、LAN-USB
存儲模式:實時存儲、定時存儲可設置;可存儲數(shù)據(jù)無限制
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